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xd-cvd（升级型）石英管式微波等离子体装置
性能简介
dm-cvd型石英管式微波等离子体装置，是由微（微波）、空（真空）、水（水冷）、电（电控）、机（机械结构）等5大体系协调一致，构成一个有机整体。整机性能优良，美观大气。
1．微波系统
  1）科技产品要以人为本。其它厂家的同类产品有微波泄漏现象，尽管泄漏剂量没有超标，不排除个别场点接近临界。产品的直接使用者是专家教授，是大学生，是肩负强国使命的科技精英，保障他们的人身安全和健康是仪器制造商义不容辞的职责。为此本厂投入大量人力财力，运用波导抗流技术解决微波泄漏问题，获得圆满成功——dm-cvd产品实现微波零泄漏。
2）本厂在治理泄漏的同时着力提高微波系统的工效，结构创新有大的举措，将谐振腔波导和阻抗匹配波导合为一体，大幅度改善了整机性能。三螺钉、反射板调节响应好，谐振腔起辉阈值低，等离子炬保持能力强。
2．真空系统
  1）dm-cvd的真空系统通过优化管路结构、改进密封措施以后，硬管走线简捷工整，软管联接距离最短。本措施使dm-cvd在不增大真空泵功率的前提下，有能力吸纳更大流量的工作气体，排放更大流量的反应尾气，提高镀膜、刻蚀功效。
   2）dm-cvd的真空系统配有3路工作气体入口，其中2路直达反应室，第3路供用户自主联接，灵活多变，适应各种不同实验和加工的配气要求。
   3）dm-cvd的真空系统配有尾气滤清净化装置，确保人员安全，环境优雅。
3．水冷系统
  1）dm-cvd的水冷系统含高效制冷机、大流量增压泵、大容量储水箱（50升），外装智能温控表、管式液位计，提供了充足、方便、安全、节水的冷却水源。
  2）波导谐振腔的水套采用对旋双环流水道，显著改善了冷却效果（同类厂家是单侧注入排出式，另一侧的积水几乎不参与循环，不仅冷却效果差，而且极易造成热水潴留，埋下隐患）。
  3）样品台支杆采用粗直径夹层套，流量大、冷却效率高，避免密封圈受热，也突破了整个水冷系统中的阻滞瓶颈；更进一步，样品台也通水冷却，做到了极致创新（同类厂家只有细套冷却，有的干脆不通水）。
4．电控系统
  1）本机采用继电控制系统，启停调节安全有序，工况指示仪表齐全、准确醒目，面板排列工整美观，外接端口规整方便。
  2）如果在缺水状态下开启微波系统，设备会拒绝接通高压电路，并且发出声光报警信号，直到操作者将冷却水系统的故障排除，方能正常启动。
  3）本机接地电路设计合理，避免了其它厂家重复搭铁、隔离搭铁等权宜措施，使机况稳定，运行安全。
5．机械结构
  1）主机和冷水机分两体制造。主机适合桌面摆放，冷水机有万向轮，适合落地摆放。好处有2：
①两体式重量分散，方便搬运、方便摆放，便于室内空间综合利用，便于
冷水机与其它设备共享，总效果优于其它厂家的一体高柜式结构。
②主机摆放在普通桌面上，波导光学窗、仪表、各种调节部件高度适中便于观察调节，避免了其它厂家（高立柜式）的控制面板和波导系统高高在上、遥不可及、调节观察均不方便的弊端。
③由于妥善理顺了电路搭铁问题，波导系统才可以紧固在主机顶部，稳定可靠，美观大气；机顶盒容纳高压部件及线路，安全、便捷、抗干扰。
   2）反应室内的样品台高度可调，调节机构巧妙灵活，豪华大气，好看又好用。可调行程宽裕，下止点略低于波导下平面，便于用足反应室空间；上止点可达上法兰与上水套接口处，便于实验完毕轻松取出样品而不必拆卸反应室。其它厂家无此部件，从而也无此方便。
   3）考虑到用户室内空间并不宽裕，dm-cvd尽力做到机内结构紧凑合理，以减小整机体积，使之与用户室内布局和原有实验台匹配相容，成为一款浓缩的精品，摒弃了其它厂家为突显高价位而膨胀体积和高度（高立柜式）的经营理念。
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上海东茂电子科技有限公司
方宁妹
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